中国量产DUV光刻机,分析师:短期难撼ASML地位

Alina Collins
Published 2026-07-28About 3 min read

一家未具名的中国企业开始量产浸没式DUV光刻机,ASML股价一度跌超8%;但多位分析师认为良率与产能规模两大瓶颈,决定了这一突破短期内难以真正改变竞争格局。

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到底发生了什么?

据《The Information》报道,一家中国企业已开始量产浸没式DUV光刻机(用深紫外光把电路图案刻到硅片上的设备),计划今年向中芯国际、长鑫存储等头部厂商交付。
DUV光刻机是成熟制程芯片生产的核心设备,此前只有ASML能量产。这意味着→ 中国首次在这一环节实现了从零到一的突破。
消息公布后,ASML股价周一一度跌超8%,周二跌幅收窄至约1.8%
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为什么分析师说"别急着下结论"?

未来研究集团AI负责人佩森斯指出:"仅有可用的机台还不够,必须达到至少与ASML相当的良率。"良率(每一批芯片里合格品的比例)直接决定成本和客户信心。
他还强调,ASML的可靠性是多年迭代积累出来的,中国企业尚未具备这一底子。
用大白话说= 能造出机器只是第一步,能稳定地、大批量地造出合格芯片,才是真正的门槛。
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产能差距有多大?

该中国企业今年目标产量仅5台,2027年计划增至约20台
相比之下,ASML计划2026年生产约130台浸没式DUV机台,2027年再扩产30%
这意味着→ 即使到2027年,中国产量也只是ASML的约十分之一。SemiAnalysis团队直言:"机台本身的产能扩张是最被低估的难题。"
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对ASML的实际冲击有多大?

ASML今年Q2净系统销售额66亿欧元,中国市场占比约14%(约9.24亿欧元)。
但由于出口管制,ASML已被限制向中国出售部分浸没式DUV机台。SemiAnalysis指出:中国自产机台"替代的是ASML因出口管制已经失去的营收",并非从ASML现有订单中抢走份额。
ODDO BHF股票研究主管乌里认为,中国能做到的可能仅限于低端产品,不太可能动摇ASML的市场主导地位。
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接下来看什么?

SemiAnalysis列出五重考验:机台性能、产能扩张、整机队表现、周边生态系统、与已折旧ASML机台的经济性——每一项对中国DUV都构成不利。
用大白话说= 光刻机不是孤立的机器,它需要一整套配套体系才能在产线上跑起来;中国在这些环节都还处于早期。
量产良率能否追平ASML,是判断这一突破能否真正改变竞争格局的关键验证节点。

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