SK海力士年底量产375层NAND,首次引入钼材料

Alina Collins
Published 2026-06-11About 4 min read

SK海力士计划年底量产375层3D NAND,首次用钼替代部分钨工艺;这意味着NAND闪存正式进入「材料换层数」的新阶段,设备与材料供应链格局随之改写。

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为什么原来说好的400层,变成了375层?

该产品内部代号原为「400层级NAND」,但超高层叠工艺中沟道孔蚀刻(在几百层薄膜中打一个极深极细的直孔)难度过大,最终下调至375层
这意味着→ 层数不是「想堆多高就堆多高」,制造精度到了这个高度会反过来限制设计目标。
后续路线图已排到480层604层,说明375层只是当前工艺能力的妥协点,不是终点。
02

不建新厂,怎么量产新产品?

SK海力士不新建晶圆厂,而是对清州M15现有产线进行改造,把原来生产176层、238层、321层的线切换到375层。
用大白话说= 同样的工厂、同样的设备位,换上新工艺做更高层数的产品——产能不增加,但每片晶圆产出的存储比特更多,成本更低
目前375层NAND已完成生产验证,正准备向量产线转移。
03

为什么一定要换材料——钨到底出了什么问题?

随着层数增加,字线(word line,每一层存储单元的信号通道)宽度不断缩窄,钨的电阻随尺寸缩小而急剧上升,信号传输变慢。
钼(Mo)在细微结构中电阻更低,可直接提升读写和擦除速度
还有一个隐性好处:钨沉积前需要额外的阻挡衬层(barrier liner),每层都有厚度损耗;钼可以直接沉积,省掉辅助层,为更高密度结构腾出物理空间。
这反映出 NAND从「比谁堆得高」进入了「比谁的材料能撑住更高层数」的竞争——材料科学正在取代纯结构工程,成为制胜关键。
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设备选型:SK海力士为什么选了TEL而不是泛林?

三星2024年4月率先在第九代286层NAND中引入钼工艺,用的是泛林集团(Lam Research)的单片处理设备。
SK海力士评估了泛林和东京电子(TEL)两套方案后,选择了TEL的炉管式沉积设备——一次可处理约100片晶圆
这意味着→ 炉管方案在设备成本、占地面积和钼材料消耗上都更省,适合大规模量产场景。两家巨头在钼工艺上走了不同的设备路线。
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钼材料供应链:谁在供货,缺口有多大?

预计向SK海力士供应钼材料的厂商包括法国液化空气集团(Air Liquide)恩特格里斯(Entegris)默克集团(Merck KGaA)
韩国本土供应商SK Specialty也在洽谈中,但目前不具备自有储存与配送系统,正讨论借助Air Liquide的配送基础设施供货。
用大白话说= 韩国本土想自己做这门生意,但「最后一公里」的罐储和运输能力还得靠海外巨头搭桥。
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钼的用量会涨多快?

业内估算三星钼采购量:2024年约4吨→ 2025年约10吨→ 2027年25吨→ 2030年80吨,六年增长20倍
SK海力士明年起正式用钼,初期年消耗量估计约4吨
这意味着→ 三星加上SK海力士,两大巨头同时放量,钼材料供应链正进入快速扩张周期——上游材料商的产能规划将成为下一个瓶颈观察点。

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