韩国削减EUV设备审批时间,助三星和SK海力士加速扩产
Alina Collins
韩国将EUV光刻设备安装审批从34天压缩至9天,三星和SK海力士先进制程产线建设将明显提速——这是一次用监管分类调整换产能时间的定向改革。
审批到底快了多少?
韩国产业通商资源部6月2日宣布,EUV设备(用极紫外光在晶圆上刻电路的光刻机)国内安装审批周期从34天缩短至9天,省下约25天。
首台受检设备还可减免约5亿韩元(约10.78万美元)的测试费用。
这意味着→ 每装一台EUV设备,产线投产时间就能提前近一个月——对动辄数十台设备的先进晶圆厂来说,累计提速相当可观。
怎么做到的?监管分类改了什么?
核心操作:把EUV设备从「高压气体制造设施」改划为新设的「特定设备」类别,依据是《高压气体安全控制法施行令》的部分修订。
用大白话说= 以前EUV设备被当成高压气罐一样管理,每台都要做耐压和气密性测试,要请国际认可检验机构来做,流程很长。现在单独立了一个类别,这些测试取消了。
新规并非放弃安全管控:使用EUV设备的工厂每三年接受一次检查,并用综合工艺核查替代原来的逐台测试。
对三星和SK海力士意味着什么?
行业高管表示,审批提速和行政负担减轻,有助于更快将先进设备投入运营,按计划推进新节点项目。
这反映出 韩国政府在全球芯片竞争加剧的背景下,正主动用监管工具为本国龙头企业争取时间窗口。
这意味着→ 对三星和SK海力士而言,扩产瓶颈从"买不买得到设备"多了一个维度——"装得多快"现在也不再是拖累项。
安全标准会不会因此降低?
韩国产业通商资源部强调,此次修订经过与半导体行业充分沟通,并参照全球安全标准完成审查。
替代方案是综合工艺核查加三年一检,官方称安全水平与原有体系相当。
用大白话说= 不是不管了,是换了一种管法——从"每台设备逐一考试"变成"整条产线定期体检"。
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